基材的价格和质量由材料,形状,尺寸,公差和抛光质量决定。 在本上,我们将提供有关上述每个问题的进一步信息。 但请注意:所有这些说明都非常简化。 详细说明请阅读相关标准的全文。 我们也很高兴通过电子邮件或讨论您的详细问题。
材料
*个决定是基材的材料。 对于高透射率的所有波长应该没有吸收。 如果不发生传输,可以使用低成本材料,例如, G。 Borofloat®(肖特公司)用于金属镜。 对于表面形状公差,低热膨胀是有益的。
形状
必须分别为两侧形状。 基本上,平面,凸面和凹面的所有组合是可能的。 一个特殊的角色扮演了一个角色。 可以在各种表面(平面以及凸或凹)上施加楔形(例如30弧度)。 对于弯曲的基底,半径符号有不同的约定。 有时“+”表示凸,“ - ”表示凹。 其他用户将“+”和“ - ”指向光传播。 在这种情况下,“+”是指“具有传播方向的曲率”,“ - ”表示“相对于传播方向的曲率”。 为了避免混淆,请分别用字母或缩略词CC或CX凹或凸。
尺寸
主要决定是边缘长度或直径。
除非另有说明,否则厚度说明是指基材的大厚度, e。 平凸基板的中心厚度和平凹基板的边缘厚度。 因此,在较厚的一侧测量楔形板。
为了达到良好的形状公差,应该注意直径和厚度的比例。 根据经验,厚度应该是直径的第五部分。 当然,其他比例是可能的,但生产支出却增加。
规范不同类型基板厚度的规定(原理图)
公差
除了尺寸和材料外,公差对于价格重要。 当然,光学元件必须装入安装座,所以直径不能大于规定值。 常见的规格是 - 0.1mm。 大多数情况下,厚度在两个方向都是自由的。 LAYERTEC通常以±0.1mm的公差表示。 对楔形,平行度和定中心的规格有很多混乱。 请注意,楔形和平行度描述光学表面之间的角度,同时居中描述光学表面和侧面之间的角度(见图2)。
图2相对于楔形和定中心的不同种类的平面基板(示意图)
LAYERTEC标准基板的平行度优于rcmin。特制的平行线可能具有低达10arcsec的并行度。标准楔形衬底具有0.5°或1°的楔形。取决于衬底尺寸,更大的楔角是可能的。通常,与侧面成90°角的精度为20arcmin。定心是一种额外的光学处理,可将精度提高到几弧度。
使用相同的术语可以描述弯曲的底物。应该区分镜子和镜头。镜面基板的侧面只是平行的。然而,光轴的方向可以倾斜于侧表面。侧面对中心平行于光轴。这样镜子基板就成为一个透镜。
表面容差
表面形状公差通常由干涉仪测量,并且以λ为参考,其为参考波长。没有进一步的陈述,参考波长λ= 546nm。为了避免混淆,必须明确区分平面度,功率和不规则性。在下文中,平面和不规则性应在平面上进行说明。
图。 3平面度,功率和不规则性的示意图。*基板的平坦度为λ/ 10。第二基板具有λ/ 4的功率以及λ/ 10的不规则性。第三基板在每个表面上具有不规则的λ/ 4,但是透射波前的变形仅为λ/ 10。
一般来说,每个真实的表面或多或少都是弯曲的。想象一下,实际表面的“峰”和“谷”被平行平面覆盖(见图3)。这些平面之间的距离称为平坦度。这种平整度由两个贡献组成。*个贡献是表面的球形弯曲,其可以由用于“峰值”和“谷”的两个佳拟合球体描述。该曲率相对于理想平面的矢状表示为功率。这种球形弯曲不影响反射光束的质量。它只是造成有限的焦距。第二个贡献是适合的球体的偏差,其被表示为不规则性。这是梁的质量重要的价值。
标准ISO 10110为表面形状公差提供了足够的机会。与测量结果具有佳可比性,所有值都以干涉条纹数量给出。它们应该读为1条纹=λ/ 2。在图中,表面形状公差被分配为项目编号3:3 /功率(不规则)
示例:规则(λ/ 10)的稍微弯曲(λ/ 4)光学器件将被规定如下:3 / 0.5(0.2)
仅使用光学元件进行透射(例如激光窗),功率以及不规则性并不重要。如果光学器件在自由孔径上具有相同的厚度,则透射束不受影响。与平等度相似的方式定义与此相等的偏离。它也以参考波长的一部分进行测量,称为“发射波前”。例如,图3中的窗口具有λ/ 4的平坦度,但是λ/ 10的透射波前。
涂层应力
薄基材通常不能承受涂层应力。涂层将导致球形变形。这意味着发生有限的矢量或功率。在圆形基板的情况下,不规则性不受此问题的影响。认真考虑上述价值,平整度变差。然而,梁的质量不受影响。
缺陷
MIL-O -13830和ISO10110是用于描述光学元件的不同标准。这通常会导致晦涩难懂。基本上应该区分划痕和挖掘。 MIL-O-13830中的划痕和挖掘数字是指以十分之一微米为单位的大划痕宽度,以毫米为单位的大挖掘直径。大尺寸挖掘可以直径为20mm。根据ISO10110,缺陷被为项目编号5.等级数字是指二次区域的相对于总故障面积的边长(毫米)。所以5 / 1x0.025表示0.000625 mm2的表面故障面积。另外,任何长度的划痕由的L表示。宽度为4微米的长划痕将被为L 1 x 0.004。
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