Layertec反射镜是一种利用反射定律工作的光学元件。反射镜按形状可分为平面反射镜、球面反射镜和非球面反射镜三种; 在光学玻璃的背面,通过真空镀膜镀一层金属银(或铝)薄膜,使入射光反射的光学元件。采用高反射比的反射镜可使激光器的输出功率成倍提高;且是第yi反射面反射,反射图像不失真,无重影,为前表面反射作用。
随着光学的飞速发展,普通反射镜已无法满足精密光学仪器的需求了,于是诞生了一系列的反射镜,通过介绍以下几类Layertec反射镜我们来简单了解一下:
1.超级反射镜
在进行高精度检测距离或时间的时候,常会用到Fabry–Pérot干涉仪,此类反射镜的诞生就是为了提高Fabry–Pérot干涉仪的性能,在实际使用的过程中,超级反射镜的反射率达到99.999%。在制作的过程中采用离子束溅射(IBS)镀膜方式,从而获得细密而无缺陷的高质量光学膜。由于基板和光学膜的散乱损失非常小,用其来构建法布里-珀罗腔,可以得到非常窄的光谱带宽和高锐度。
2.飞秒激光用反射镜
分低分散反射镜和负分散反射镜两种:
低分散反射镜在脉宽100 fs以下的超短脉冲激光中使用的波长分散也可以做到很小,通过考虑波长分散、波长范围、激光损伤阈值的优化特殊膜系设计,可抑制多个反射镜的反射引起的脉冲宽度变宽的影响。此类反射镜也可用于飞秒时间分辨光谱装置的光学系统或飞秒激光导入显微镜系统。需注意在光线以45°以外的角度入射时,可能无法做到波长分散补偿;P偏光与S偏光相比,反射率变低,反射谱区变窄。
负分散反射镜是用于波长分散为负的特殊反射镜,主要用于飞秒激光谐振腔的分散补偿,在谐振腔内,使光线在谐振腔内的两枚负分散反射镜之间往返数次,可以抵消谐振腔内的波长分散。需注意在使用的过程中光线入射角度需要在0-20°之间,在其他角度入射时可能无法做到分散补偿。
3.电介质膜反射镜
根据使用用途的不同会有差异,目前主要有强激光用电介质反射镜、超带宽电介质膜反射镜和入射角可变激光谱线反射镜。
①强激光用电介质膜反射镜主要适用于高功率,脉冲Nd-YAG激光或准分子激光的光学系统。在YAG激光器中,用作从基波(1064 nm)到4次谐波(266 nm)的反射镜,也用作ArF(193 nm),KrF(248 nm)的准分子激光的反射镜;
②超带宽电介质膜反射镜,这类反射镜在紫外谱区、可见光谱区和红外谱区都有着高反射率,即使是在紫外和红外谱区,也比一般金属膜反射镜要高;
③入射角可变激光谱线反射镜,适用于迈克尔逊干涉仪或其他需要在两面反射镜之间反复多次反射的、入射角需要小于45°的光学系统中。当入射角固定时,可用的波长范围较宽。